고온로에서 온도 균일성 측정 및 분석

저자:Bruce
게시일:2024-11-06 10:56
조회수:57

일반적으로, 공정의 요구 사항과 관련 기술 문서에 따라, 박스 로의 유효 작업 영역에서 온도의 최대값과 최소값, 로의 온도 최대 편차, 설정 값에 대한 부피 편차의 최대값과 최소값은 고온로의 온도 균일성 측정 결과에서 얻을 수 있습니다. 그러나 각 측정 지점에서의 최고 온도 값과 최저 온도 값은 전체 측정 기간 동안 선택해야 하며, 동일한 측정 주기 내에서 읽지 않아야 합니다. 이는 온도의 시간 분포를 볼 수 있게 해줍니다.

고온로는 서로 다른 두 구성 요소가 합성 회로에 연결된 두 도체로 나뉩니다. 접합점에서 온도가 다를 때 전기기전력이 회로에서 생성됩니다. 열전대는 두 접합점의 온도가 다를 때 회로에서 발생하는 전기기전력을 원리로 하여 온도를 측정합니다. 열전대가 로 내에서 배치된 위치에 따라 박스 로의 유효 작업 영역의 크기와 위치가 결정됩니다.

  1. 로의 온도 최대 편차 = 각 측정 지점에서의 최고 온도 값 - 각 측정 지점에서의 최저 온도 값.

  2. 설정 값을 초과한 최대 편차 = 각 측정 지점에서의 최고 온도 값 - 제어기의 설정 값.

  3. 설정 값 이하의 최대 편차 = 각 측정 지점에서의 최저 온도 값 - 제어기의 설정 값.

(세라믹 섬유 챔버 및 온도 제어기)