يُنشئ فرن التحميص تحت الفراغ بيئة فراغية منخفضة الضغط، مما يقلل من الأكسجين والغازات الأخرى داخل الغرفة لمنع الأكسدة والتفاعلات الكيميائية عند درجات الحرارة العالية. توفر عناصر التسخين (عادةً ما تكون سخانات مقاومة) درجات الحرارة العالية اللازمة لتسخين العينات إلى درجات الحرارة المطلوبة للمعالجة.